化学机械平坦化关键核心材料研磨液是先进技术节点集成电路典型的“卡脖子”产品。河北工业大学一项突破这个“卡脖子”难题的成果近日成功通过了中国电子协会科技成果鉴定，鉴定委员会认为该技术成果属于原始创新，总体达到国际先进水平，金属离子控制、漏电流等指标达到国际领先水平。据了解，该项目对芯片制造关键材料阻挡层研磨液攻关及产业化、保障我国集成电路供应链和产业链安全具有重大战略意义。

　　该项目名为“集成电路铜互连自钝化化学机械平坦化技术、材料及应用”，由河北工业大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、天津晶岭微电子材料有限公司组织创新团队共同完成。该成果形成了新型全国产耗材化学机械平坦化产品，通过了创新中心55纳米集成电路产线中试测试及终端用户测试，其稳定性、漏电流、击穿电压等多项重要参数优于国际同类产品水平，对55纳米以下先进技术节点集成电路具有指导作用。该产品可广泛应用于人工智能、区块链、云计算、5G通讯技术、汽车电子等新兴终端市场。